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蒸着材一覧

屈折率すべて低屈折率中屈折率高屈折率金属機能材料

主要蒸着材料の光学特性

区分	屈折率	物質名	化学式	融点(℃)	沸点(℃)	透過波長領域(μm)	密度 (g/㎤)	応力	蒸発源	顆粒	ペレット
低屈折率	1.34	フッ化ナトリウム	NaF	993	1695	0.25-10	2.56		E	○
	1.35	クリオライト	Na3AlF6	1000		0.2-10	2.9	T+	M,T,E	○
	1.35	チオライト	Na5 Al3F14	1030		0.2-12	2.9	T+	M,T,E	○
	1.36	フッ化リチウム	LiF	848	1676	0.15-7	2.64	T+	M,E	○
	1.38	フッ化マグネシウム	MgF2	1248	2260	0.2-5	3.18	T+++	W,M,T,E	○	○
	1.40	フッ化アルミニウム	AlF3	1290	（昇華性）	0.2-20	2.88	T+	E	○
	1.40	フッ化カルシウム	CaF2	1373	2500	0.15-10	3.18		W,T,E	○	○
	1.40	フッ化ストロンチウム	SrF2	1190	2460		4.2		E	○
	1.45	フッ化ジルコニウム	ZrF4		600℃昇華	4-12	4.43		E	○
	1.47	二酸化ケイ素	SiO2	1710℃（軟化点）		0.2-10	2.2	C+++	E	○	○
	1.48	フッ化バリウム	BaF2	1354	2260	0.15-13	4.83		E	○	○
	1.49	フッ化イットリウム	YF3	1152	2230				E	○
中屈折率	1.50	OL-B	SiO2+ Al2O3			0.4-7		T+	E	○	○
	1.59	フッ化ランタン	LaF3	1493	2327	0.2-12	5.94	T+	E	○
	1.60	フッ化ネオジム	NdF3	1374	2327	0.2-2	6.51	T+	E	○
	1.62	フッ化ガドリニウム	GdF3	1231	2277	0.2-8		T+	E	○
	1.63	フッ化セリウム	CeF3	1460	2300	0.3-10	6.16	T++	M,T,E	○	○
	1.64	酸化アルミニウム	Al2O3	2055	2980	0.2-7	4	T++	E	○
	1.70	酸化タングステン	WO3	1473	1750		7.16		W,P,E	○	○
	1.72	酸化マグネシウム	MgO	2852	3600	0.2-7	3.58	T+	E	○
	1.75	フッ化鉛	PbF2	855	1290	0.3-15	8.24		W,E	○
	1.80	一酸化ケイ素	SiO	1700℃以上		0.6-10	2.24	T/C	M,T,E	○	○
	1.84	酸化ランタン	La2O3	2187-2300		0.3-8	6.51		E	○
	1.88	酸化イットリウム	Y2O3	2356- 2435		0.3-8	5.01	C+++	E	○	○
	1.89	酸化スカンジウム	Sc2O3	2383- 2423		0.3-8	3.86		E	○	○
	1.90	酸化ユーロピウム	Eu2O3	約2100℃					E	○
	1.90	酸化モリブデン	MoO3	795	1155		4.7		E,M	○
	1.90	フッ化サマリウム	SmF3	1306	2427		7.1	T+	E	○
	1.92	酸化プラセオジム	Pr6O11			0.3-10			W,E	○
高屈折率	2.00	酸化インジウム	In2O3	700℃ で分解			7.18		W,T,M,E	○	○
	2.00	酸化スズ	SnO2	1127	1850℃付近で昇華				W,E	○	○
	2.05	酸化ハフニウム	HfO2	2758		0.25-10	9.68	T++	E	○	○
	2.05	酸化タンタル	Ta2O5		1470℃ で分解	0.3-10	7.3-8.2	T++	E	○	○
	2.05	酸化ジルコニウム	ZrO2	2700	4300	0.3-7	5.49	T+	E		○
	2.10	酸化アンチモン	Sb2O3	656	1425	0.3-1	5.2		E	○
	2.10	酸化亜鉛	ZnO		1720℃ で昇華	0.3-8	5.61		E	○	○
	2.13	酸化セリウム	CeO2	2600	（昇華性）	0.4-16	7.13	C+	W,E	○
	2.13	OS-5	ZrO2+ TiO2			0.4-7	4.5	T+	E		○
	2.15	酸化ネオジム	Nd2O3	2192- 2310		0.2-2	7.24		E	○
	2.20	酸化ニオブ	Nb2O5	1520			4.3-5.2	T+	E	○
	2.30	硫化亜鉛	ZnS	1800- 1900	1180℃ で昇華	0.4-15	4.09	C++	M,E	○	○
	2.35	三酸化二チタン	Ti2O3		2130℃ で分解	0.4-10	4.6	T+++	W,E	○	○
	2.35	五酸化三チタン	Ti3O5			0.4-10	4.2	T+++	W,E	○	○
	2.35	一酸化チタン	TiO	1750	3000℃以上	0.4-10	4.93	T+++	W,E	○
	2.35	二酸化チタン	TiO2	1825	3000℃ 以上分解	0.4-10	4.17	T+++	E	○	○
	3.4 (2μm)	シリコン	Si	1414	2642		2.34	T++	W,E	○
	4.4 (2μm)	ゲルマニウム	Ge	959	2691		5.4		W,M,T,E	○
金属		銀	Ag	962	2184		10.5	T+	M,T,E	○
		アルミニウム	Al	659	2270		2.7		W,E	○
		金	Au	1063	2710		19.3	T+	W,M,E	○
		クロム	Cr	1890	2212		7.2	T++	W,E	○
		銅	Cu	1085	2580		8.93	T+	W,M,T,E	○
		酸化ゲルマニウム	Ge2O3	1116	1250		4.2		W,T,M,E	○
		ハフニウム	Hf	1700			13.3		E	○
		インジウム	In	156	2100		7.3		W,M,E	○
		モリブデン	Mo	2610	4800		10.2	T++		○
		ニッケル	Ni	1455	2721		8.85	T++	W,E	○
		白金	Pt	1773	3800		21.4	T++	W,E	○
		タンタル	Ta	2996	5300		16.6		E	○
		チタニウム	Ti	1675	3262		4.54	C/T+	W,T,E	○
		タングステン	W	3387	5900		19.1		E	○
機能材料		ITO	In2O3+ SnO2	透明導電膜		0.4-7			E	○	○
		MS-DC100		撥水剤					W,M,T,E		○
		MS-SY		超撥水剤					W,M,T,E		○

応力
C：圧縮
T：引っ張り
+：弱
++：中
+++：強

蒸発源
E：電子銃
W：タングステンボート
M：モリブデンボート
T：タンタルボート